Polycrystalline 3C-SiC films deposited on 100 mm Si wafers for MEMS (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • Polycrystalline 3C-SiC films deposited on 100 mm Si wafers for MEMS (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2009-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Poggi A, Schöner A, Roncaglia A, Mancarella F, Milita S, Bellei M (2009)
    Polycrystalline 3C-SiC films deposited on 100 mm Si wafers for MEMS
    in WASMPE 2009, Catania
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Poggi A, Schöner A, Roncaglia A, Mancarella F, Milita S, Bellei M (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • CNR-IMM Bo, Via Gobetti 101, 40129 Bologna, Italy ACREO AB-Electrum 236, Isafjordsgatan 22, SE-164 40 Kista, Sweden Medica s.r.l., Via degli artigiani 6, 41036 Medolla-Modena, Italy (literal)
Titolo
  • Polycrystalline 3C-SiC films deposited on 100 mm Si wafers for MEMS (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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