IIT - processi EBL per master in silicio (DFM.AD006.104)
Thematic area
Physical sciences and technologies of matter
Project area
Infrastrutture di ricerca , strumentazione avanzata e nuove metodologie sperimentali e di calcolo (DFM.AD006)Structure responsible for the research project
Institute for photonics and nanotechnologies (IFN)
Project manager
GIORGIO PETTINARI
Phone number: 06-415221
Email: giorgio.pettinari@cnr.it
Abstract
Processi di litografia elettronica per master in silicio.
Goals
creazione di master in silicio con features micrometriche e sub micrometriche per applicazioni bio-medicali
Start date of activity
29/11/2016
Keywords
litografia elettronica
Last update: 26/12/2024