Subcontratto ERC RM3 Morphosis/Lanzara (DFM.AD001.066)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)
Responsabile di progetto
ANDREA NOTARGIACOMO
Telefono: 06415221
E-mail: andrea.notargiacomo@ifn.cnr.it
Abstract
Attività di supporto tecnologico e sviluppo di processi di micro e nanofabbricazione in ambiente di Cleanroom per applicazioni su microstrutture do materiali innovativi
Obiettivi
Messa a punto de processi per di microfabbricazione su materiali innovativi.
Data inizio attività
24/06/2014
Parole chiave
litografia, film sottili, processi
Ultimo aggiornamento: 19/05/2024