Materiali e processi per MEMS e dispositivi di potenza (DFM.AD001.371)
Area tematica
Scienze fisiche e tecnologie della materia
Area progettuale
Sensori multifunzionali e dispositivi elettronici (DFM.AD001)Struttura responsabile del progetto di ricerca
Istituto per la microelettronica e microsistemi (IMM)
Responsabile di progetto
CLAUDIA WIEMER
Telefono: 0396037624
E-mail: claudia.wiemer@mdm.imm.cnr.it
Abstract
Studio di materiali e processi per applicazioni in dispositivi MEMS e Smart Power
Obiettivi
he objectives of this project are: i) the development and characterization by atomic layer deposition of dielectrics for optical mems; ii) the physic-chemical characterization of materials provided by ST-I for applications in Smart Power Devices
Data inizio attività
01/02/2021
Parole chiave
MEMS, dispositivi di potenza, film sottili dielettrici
Ultimo aggiornamento: 18/01/2025